Das hochreine 2/2-Wege-Membranventil GEMÜ C67 CleanStar wird manuell betätigt. Alle medienberührten Teile sind aus PFA oder PTFE. Ein Schließbegrenzung (ausgenommen AG4) und optische Stellungsanzeige sind serienmäßig integriert. Diese High Purity Ausführung der CleanStar Baureihe erfüllt höchste Reinheitsstandards und weist eine hohe, chemische Beständigkeit auf. Zudem ist sie auch bei hohen Medientemperaturen einsetzbar. Daher kommt sie sehr häufig in der Versorgungs- und Verteilungsebene von Halbleiterfabriken zum Einsatz.