GEMÜ CleanStar für den Einsatz in DFS Fusion Chemiemischsystemen

GEMÜ CleanStar für den Einsatz in DFS Fusion Chemiemischsystemen

GEMÜ CleanStar für den Einsatz in DFS Fusion Chemiemischsystemen
Chemikalien werden in der Halbleiterfertigung in nahezu allen Prozessen eingesetzt, insbesondere zum Reinigen, Beschichten und Ätzen. Die dort verwendeten aggressiven Reinstchemikalien stellen hohe Anforderungen an die Reinheit und Beständigkeit der Anlage und ihrer Komponenten. Deshalb sind für die Chemikalienmisch- und Versorgungssysteme Membranventile aus hochwertigen Fluorpolymerkunststoffen besonders empfehlenswert. Am Beispiel des DFS Fusion Chemiemischsystems erfahren Sie mehr über die Produkte und Lösungen von GEMÜ, die sich optimal für die Halbleiterproduktion eignen.
weitere Anwendungsfälle

Nützliches zum Download

21
pdf
403 KB
21
pdf
407 KB