GEMÜ 690HP PurePlus

Pneumatisch betätigtes Membranventil

  • Beschreibung
  • Merkmale
  • Technische Details

Das 2/2-Wege-Membranventil GEMÜ 690HP verfügt über einen wartungsarmen Membranantrieb und wird pneumatisch betätigt. Es stehen die Steuerfunktionen „Federkraft geschlossen (NC)“, „Federkraft geöffnet (NO)“ und „beidseitig angesteuert (DA)“ zur Verfügung.

  • Kompakte und leichte Bauweise bei hoher Leistung
  • Hoher Durchflusswert
  • Totraumarm
  • Bewährter und langlebiger Membranantrieb
  • Leckagebohrung
  • Einfacher Membranwechsel
  • Nennweiten*: DN 15 bis 100
  • Medientemperatur: -10 bis 80 °C
  • Umgebungstemperatur: -5 bis 50 °C
  • Betriebsdruck*: 0 bis 10 bar
  • Anschlussarten: Stutzen
  • Körperwerkstoffe: Inliner PP-H, grau / Outliner PP, verstärkt | Inliner PP-H, natur / Outliner PP, verstärkt | PVDF
  • Konformitäten: EAC
Prozessgerät-Nassbank / Ventile, Rohre und Fittings

Anwendung zum Produkt

Prozessgerät-Nassbank / Ventile, Rohre und Fittings

Bei der Herstellung von Mikrochips herrschen höchste Anforderungen in Bezug auf Reinheit der Betriebsmedien und der Umgebung. Je hochwertiger die Halbleiter sind, desto geringer sind die erlaubten Grenzwerte für Partikel und chemische Kontaminationen. Dies wirkt sich sowohl auf die eigentliche Produktion der Wafer, das sind Siliziumscheiben auf die Schaltkreise von Mikrochips aufgeätzt und später in einzelne Mikrochips ausgesägt werden als auch schon auf die Herstellung der Betriebs- und Hilfsstoffe aus. Bei den sogenannten Nassbänken handelt es sich um Produktionsbereiche in welchen die Oberflächen der Siliziumscheiben geschliffen, die Schaltkreise mit hochreinen Säuren und Mischsäuren aufgeätzt und mit Reinstwasser gespült werden.