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Prozessgerät - Nassbank

Prozessgerät-Nassbank / Ventile, Rohre und Fittings
Bei der Herstellung von Mikrochips herrschen höchste Anforderungen in Bezug auf Reinheit der Betriebsmedien und der Umgebung. Je hochwertiger die Halbleiter sind, desto geringer sind die erlaubten Grenzwerte für Partikel und chemische Kontaminationen. Dies wirkt sich sowohl auf die eigentliche Produktion der Wafer, das sind Siliziumscheiben auf die Schaltkreise von Mikrochips aufgeätzt und später in einzelne Mikrochips ausgesägt werden als auch schon auf die Herstellung der Betriebs- und Hilfsstoffe aus. Bei den sogenannten Nassbänken handelt es sich um Produktionsbereiche in welchen die Oberflächen der Siliziumscheiben geschliffen, die Schaltkreise mit hochreinen Säuren und Mischsäuren aufgeätzt und mit Reinstwasser gespült werden.
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