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Versorgungsanlage für Reinstchemikalien

Versorgungsanlage für Reinstchemikalien
Um Mikrochips z. B. für Computer herzustellen, müssen innerhalb aller Herstellprozesse höchste Reinheitsanforderungen erfüllt werden. Auch die zur Produktion erforderlichen Betriebsmedien, Transportbehälter und die Verteileranlagen in die Produktionsbereiche unterliegen dieser Notwendigkeit. Begründet wird dies durch die äußerst miniaturisierten Schaltkreise der Halbleiter. Darüber hinaus dürfen keinerlei elektrisch leitfähigen Teilchen wie Metallionen oder -moleküle auf die Wafer gelangen oder sich in deren Umgebung befinden. Wäre dies der Fall, könnten diese Teilchen die kleinen Zwischenräume der Leiterbahnen ausfüllen und kurzschließen. Außerdem beeinflussen sie die elektrischen Eigenschaften der Halbleiter und somit deren Funktion.
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