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Mikroelektronik und Halbleiterfertigung

Critical Fluid Handling

Seit 1988 produziert GEMÜ hochreine Ventil-, Mess- und Regeltechnik. Das Einsatzspektrum umfasst die Optik, Medizin, Photovoltaik, Elektronik, Mikroelektronik, Halbleiterherstellung, Pharmazie, Bio- und Gentechnologie sowie die Fein- und Mikromechanik. 

Reinraumwerk Emmen

Alle Bauteile und Produkte für hochreine Anwendungen in diesen Industrien werden unter Reinraum-Bedingungen hergestellt. Mittels neuester Technologien und Verfahren werden Ventile sowie Mess- und Regeltechnik am Standort Emmen (Schweiz) gespritzt, gereinigt, montiert, geprüft sowie unter Reinraumbedingungen verpackt.

Beständige Körperwerkstoffe für weitere Einsatzgebiete

Für das Critical Fluid Handling in anderen Industrien kann das Produktspektrum mit Körperwerkstoffen wie PTFE, PVDF, PFA oder PP auch als HPS-Variante (ohne Reinraumproduktion) bezogen werden. GEMÜ bietet damit höchste chemische Beständigkeit zu einem marktgerechten Preis an. 

Mehrwegeventile für Dosier-, Regel- und Verteileraufgaben

Unsere kundenspezifischen, multifunktionalen Einheiten der Serie GEMÜ iComLine® eignen sich für Auf-/Zu-Regelungen. Aufgrund der Sitzmembrantechnologie, auch für kurze, schnelle Taktzahlen bei Dosier- und Regelfunktionen.

Beispiel-Prozesse mit GEMÜ Ventil-, Mess- und Regelsystemen

  • Herstellung von Solarwafern und Flatpanels
  • Dosierung von Chemikalien 
  • Leiterplatten- und Mikrochipfertigung 
  • Produktion von Leuchtdioden 
  • Metallabscheidung 

Produktspektrum

  • PFA- und PP-Membranventile CleanStar®
  • PTFE-Membransitzventile iComLine®
  • PTFE-, PVDF-, PP-, PVC-Mehrwege-Ventilblöcke iComLine®
  • PVDF-/PP-Membranventile und PVDF-Durchflussmesser PurePlus®
  • PFA-Membranventile 600HP/677 HPW
  • PFA-/PTFE-Druckmesser HydraLine
  • (PFA-)Ultraschall-Durchflussmessgerät SonicLine®
  • PFA-Fittings- und Schlauchsystem FlareStar® / TubeStar®

Alle GEMÜ Ventile mit pneumatischem oder elektrischem Antrieb sind mit Instrumentierung ab Werk lieferbar.