Für die Sterilisation von Anlagen in der pharmazeutischen Industrie ist die Qualität von normalem Betriebsdampf nicht ausreichend. Der Anteil von Verschmutzungen, Partikeln, Hydrazin, Phosphaten und ähnlichen Bestandteilen(Korrosionsinhibitoren) ist in diesem Dampf zu hoch. Für Arzneimittel muss entsprechend den relevanten Vorschriften, z. B. der FDA (Food and Drug Administration) ein spezieller Betriebsdampf verwendet werden. Er darf diese Bestandteile nicht mehr aufweisen und muss darüber hinaus auch frei von flüchtigen Bestandteilen sein, da sie durch Filtration nicht entfernt werden können.