Chemikalien werden in der Halbleiterfertigung in nahezu allen Prozessen eingesetzt, insbesondere zum Reinigen, Beschichten und Ätzen. Die dort verwendeten aggressiven Reinstchemikalien stellen hohe Anforderungen an die Reinheit und Beständigkeit der Anlage und ihrer Komponenten. Deshalb sind für die Chemikalienmisch- und Versorgungssysteme Membranventile aus hochwertigen Fluorpolymerkunststoffen besonders empfehlenswert. Am Beispiel des DFS Fusion Chemiemischsystems erfahren Sie mehr über die Produkte und Lösungen von GEMÜ, die sich optimal für die Halbleiterproduktion eignen.