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Mikroelektronik und Halbleiterfertigung

Critical Fluid Handling

Seit 1988 produziert GEMÜ hochreine Ventil-, Mess- und Regeltechnik. Das Einsatzspektrum umfasst die Optik, Medizin, Photovoltaik, Elektronik, Mikroelektronik, Halbleiterherstellung, Pharmazie, Bio- und Gentechnologie sowie die Fein- und Mikromechanik. 

Reinraumwerk Emmen

Alle Bauteile und Produkte für hochreine Anwendungen in diesen Industrien werden unter Reinraum-Bedingungen hergestellt. Mittels neuester Technologien und Verfahren werden Ventile sowie Mess- und Regeltechnik am Standort Emmen (Schweiz) gespritzt, gereinigt, montiert, geprüft sowie unter Reinraumbedingungen verpackt.

Beständige Körperwerkstoffe für weitere Einsatzgebiete

Für das Critical Fluid Handling in anderen Industrien kann das Produktspektrum mit Körperwerkstoffen wie PTFE, PVDF, PFA oder PP auch als HPS-Variante (ohne Reinraumproduktion) bezogen werden. GEMÜ bietet damit höchste chemische Beständigkeit zu einem marktgerechten Preis an. 

Kundenspezifische Systemlösungen für Dosier-, Regel- und Verteilaufgaben

Unsere kundenspezifischen, multifunktionalen Mehrwegeventile der Serie GEMÜ iComLine eignen sich für Auf-/Zu-Regelungen. Die Sitzmembrantechnologie ermöglicht kurze, schnelle Taktzahlen bei Dosier- und Regelfunktionen auch bei aggressiven und partikelführenden Medien. Ergänzend stehen Druckmesssysteme sowie Fittinge und Schläuche zur Verfügung. Diese können separat bestellt oder zu so genannten Manifolds nach Spezifikation aufgebaut und geliefert werden.

Beispiel-Prozesse mit GEMÜ Ventil-, Mess- und Regelsystemen

  • Herstellung von Solarwafern und Flatpanels
  • Dosierung von Chemikalien 
  • Leiterplatten- und Mikrochipfertigung 
  • Produktion von Leuchtdioden 
  • Metallabscheidung 

Produktspektrum

Alle GEMÜ Ventile mit pneumatischem oder elektrischem Antrieb sind mit Instrumentierung ab Werk lieferbar.

Membranventile CleanStar und PurePlusMembransitzventile iComLineMehrwegeventilblock iComLine
Durchflussmesser SonicLineDruckmesser HydraLineFittings FlareStar
Schlauch TubeStarMembranventile aus Edelstahl

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