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Edelstahl-Membranventile – die perfekte Wahl für die Lösemittelversorgung
Im Herstellungsprozess von Halbleiterprodukten werden kritische und aggressive Lösemittel verwendet. Dies stellt hohe Anforderungen an die chemische Beständigkeit sowie den Explosionsschutz der Versorgungskomponenten einer Anlage. GEMÜ Membranventile aus Edelstahl eigenen sich bestens für diese Reinstlösemittelanwendungen. Wir stellen Ihnen hier unsere unterschiedlichen Produkttypen vor.
Steigende Komplexität – Wir haben die Lösung
GEMÜ ist ihr Entwicklungspartner wenn es um Subassemblies geht.
Wir bieten alles von der Einzelkomponenten über die Herstellung einfacher Schweiß- und Stickkonfigurationen bis hin zu komplexen Unterbaugruppen und Manifolds.
Edelstahlkomponenten in der Chemie & Wafer-Herstellung für:
• H2SO4
• TMAH
• H3PO4
Edelstahlkomponenten in der Lösemittelversorgung für:
• Isopropanol
• Aceton
• N-Methylpyroolidon (NMP)
Edelstahlkomponenten im Prozess Level für:
• Lithographie (Fotolack)
➥ Vorteile der Edelstahlkomponenten in der Lösemittelversorgung
Gute Leitfähigkeit
Die eingesetzten Lösemittel haben einen niedrigen Brennpunkt und laden sich in Rohrleitungen sehr leicht elektrostatisch auf. Das führt dazu, das Lösemittelversorgungsanlagen mit ableitbaren Materialien gebaut und geerdet werden müssen. Edelstahl verfügt über eine besonders gute Leitfähigkeit.
Hohe OberflächenqualitätDie Oberflächenrauheit der eingesetzten Anlagenkomponenten beeinflusst, wie stark sich das fließende Medium auflädt. Seit 2018 besitzt GEMÜ ein Oberflächentechnologiezentrum und baut kontinuierlich Kompetenzen in diesem Bereich auf. Für die Lösemittelversorgung werden Rauheiten von Ra 0,25 bis Ra 0,8 empfohlen, um eine elektrostatische Aufladung zu vermeiden. Durch eine hohe Oberflächenqualität profitieren Sie zudem von einer verbesserten Reinigbarkeit.
Hohe Beständigkeit
Der Werkstoff Edelstahl hat den Vorteil, dass es ein sehr beständiges Material ist. So können auch aggressive Medien eingesetzt werden ohne dass das Lösemittel verunreinigt wird oder das Ventil undicht wird. Unsere Ventile aus Edelstahl sind beständig gegen alle gängigen Lösemittel wie beispielsweise:
• 2-Propanol 99,8%
• Ethyllaktat
• Aceton
• NMP
• AZ400T
• NBA
• PGMEA
➥ Ventilkörper und Anschlussarten
Spezialanschlussarten
Schweißstutzen und VCR-Anschlüsse gelten als Standardverbindungen für Edelstahlkomponenten. Je nachdem ob die Ventilkomponenten einfach zu montieren sein müssen oder eingeschweißt werden können, kommen die unterschiedlichen Anschlüsse zum Einsatz.
Ventilkörper
Schmiedekörper sind Standardkörper für Lösemittelversorgungssysteme, um eine minimale Oberflächenrauheit zu gewährleisten.
➥ Die Alternative: Kohlefaserverstärktes PTFE
Kohlefaserverstärktes PTFE als leitfähige Alternative zu Edelstahl
In besonders kostensensitiven Bereichen kommen auch Komponenten aus beständigem PTFE und PTFA zum Einsatz. Kunststoffe als elektrische Isolatoren können sich durch Reibung statisch aufladen und sind deshalb eher ungeeignet für die Lösemittelversorgung. Durch Zusatz von Leitruß (Kohlenstoff) im Produktionsprozess des Fluorpolymers kann aber eine gezielte Leitfähigkeit erreicht werden. Die entstehenden Ladungen können so kontrolliert abgeführt werden, sodass schlagartige Entladungen und damit verbundene Entzündungen verhindert werden.
GEMÜ bietet Körper aus leitfähigem PTFE sowie Schläuche und Überwurfmuttern aus kohlefaserverstärktem PFA an. Zum Beispiel die Membranventile GEMÜ C60 und C67 oder das
M-Block Membransitzventil GEMÜ PC50 iComLine.
GEMÜ-Edelstahl- und Kunststoffkomponenten
Manuell betätigte Ventile
Pneumatisch betätigte Ventile
Kunststoffventile