Halvlederindustrien stiller høje kravt til ventil-, måle- og reguleringsteknikken. Pneumatisk betjente ventiler er ikke længere tilstrækkelige til at opfylde de krav til regulering, som førende producenter af procesudstyr stiller. Derfor har ventilspecialisten GEMÜ udviklet den el-motorbetjente reguleringsventil GEMÜ C53 iComLine.

2/2-vejs-membransædeventilen GEMÜ C53 iComLine blev udviklet med henblik på præcise og krævende reguleringsopgaver inden for halvlederfremstilling. Ventilens tætningsprincip er baseret på den gennemtestede GEMÜ PD-teknologi, hvor aktuatoren er adskilt fra mediet via en konusformet reguleringskonus af robust PTFE. Da reguleringskonussens kontur, aktuatorvandringen og tilslutningsstørrelserne kan tilpasses kundespecifikt, opfylder GEMÜ C53 iComLine næsten alle reuglerings- og flowkrav inden for den højteknologiske halvlederindustri. Takket være okmbinationen af den præcise stepmotor med ultrarene ventilhusmaterialer er ventilen særligt egnet til litografi-, CMP- og ætsningsprocesser samt til brug på analytikområdet inden for halvlederfremstilling.

Membransædeventilen GEMÜ C53 iComLine kan i den forbindelse ikke blot monteres som en enkeltvirkende fristrømsventil. Det er også muligt at integrere ventilen i en M-Block GEMÜ PC50 iComLine med henblik på at opnå et avanceret og kompakt flowsystem. Ved bearbejdning af siliciumvafler kan der for eksempel benyttes en flervejsventilblok i FOUP-Cleaner med henblik på temperaturstyring af det deioniserede vand. Til det formål kan kontraventiler og sensorer integreres i M-Block GEMÜ PC50 iComLine.