La industria de los semiconductores plantea unas exigencias elevadas a la tecnología de válvulas, medición y control. Con cada vez más frecuencia, las válvulas accionadas neumáticamente ya no son suficientes para responder a los requisitos de regulación de fabricantes líderes de equipos de procesos. Por este motivo, el especialista en válvulas GEMÜ ha desarrollado la válvula de regulación motorizada GEMÜ C53 iComLine.

La válvula de globo de diafragma de 2/2 vías GEMÜ C53 iComLine ha sido desarrollada para aplicaciones exigentes y precisas de regulación en la producción de semiconductores. El principio de estanqueidad de la válvula se basa en la tecnología probada GEMÜ PD, con la que el accionamiento y el fluido se separan por medio de un cono de regulación de PTFE resistente. Puesto que el contorno del cono de regulación, la carrera del actuador y los tamaños de conexión se pueden adaptar de acuerdo con las especificaciones del cliente, GEMÜ C53 iComLine cumple casi todos los requisitos de regulación y de caudal de la industria altamente tecnológica de los semiconductores. Mediante la combinación del preciso motor paso a paso con materiales de cuerpo de alta pureza, la válvula resulta apropiada especialmente para procesos de litografía, de pulido químico-mecánico y de mordentado, así como para aplicaciones en el ámbito de análisis en la producción de cualquier semiconductor.

La válvula de globo de diafragma GEMÜ C53 iComLine puede instalarse no solo como simple válvula de paso recto. También es posible su integración en un M-Block GEMÜ PC50 iComLine para crear diagramas de flujo complejos en un espacio mínimo. En el procesamiento de obleas de silicio se puede utilizar un bloque de válvulas multivía, por ejemplo, en el FOUP-Cleaner, para regular la temperatura del agua desionizada. Para ello, se pueden integrar en el M-Block GEMÜ PC50 iComLine válvulas antirretorno y sensores.