Puolijohdevalmistuksessa kemikaaleja käytetään lähes kaikissa prosesseissa, etenkin puhdistuksessa, pinnoituksessa ja etsauksessa. Niissä käytettävät syövyttävät, puhdistetut kemikaalit asettavat tiukat vaatimukset laitteiston ja sen komponenttien puhtaudelle ja kestävyydelle. Sen vuoksi kemikaalisekoitus- ja syöttöjärjestelmille suositellaan erityisesti kalvoventtiilejä, jotka on valmistettu korkealaatuisista fluoropolymeerimuoveista. DFS Fusion -kemikaalisekoitusjärjestelmää koskevasta esimerkistä löytyy lisätietoa GEMÜn tuotteista ja ratkaisuista, jotka sopivat optimaalisesti puolijohdetuotantoon.