Monimutkaisten mikrorakenneosien geometrioiden toteuttaminen ei ole enää mahdollista perinteisten mekaanisten menettelyjen avulla ilman pintakalvoja. Tällaisia ovat esimerkiksi kellojen hammasrattaat ja käyntirattaat. Uusien menetelmien, kuten LIGA-menetelmän, avulla voidaan valmistaa mikrorakenneosia, joissa mikrorakenteet ovat litograafisia ja galvanoimalla pinnoitettuja.