GEMÜ-intersivustoilla käytetään evästeitä. Kun käytät sivustoa, suostut evästeiden käyttämiseen. Henkilökohtaiset asetuksesi pääset tekemään napsauttamalla Täällä.

Prosessilaite - märkäpenkki / venttiilit, putket ja tiivisteet

Process equipment wet bench/valves, pipes and fittings
Mikrosiruja valmistettaessa on kiinnitettävä erityistä huomiota käytettävien materiaalien ja tuotantoympäristön puhtauteen. Mitä korkealaatuisempia puolijohteet ovat, sitä matalampia ovat hiukkasia ja kemiallista saastumista koskevat sallitut raja-arvot. Se vaikutta sekä puolijohteiden varsinaiseen tuotantoon, eli mikrosirujen kytkentäpiirien piikalvojen etsaukseen ja myöhemmin yksittäisten mikrosirujen leikkaamiseen, sekä käyttö- ja apuaineiden valmistukseen. Ns. märkäpenkeillä tarkoitetaan tuotantoalueita, joilla piikalvojen pinnat hiotaan ja kytkentäpiirit etsataan puhdistetuilla hapoilla ja happoseoksilla ja huuhdellaan puhdistetulla vedellä.
lisää sovelluksia

Hyödyllinen download

DE
pdf
117 KB
GB
pdf
113 KB