Vanne à siège à membrane 2/2 voies à moteur électrique

La vanne à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine a été conçue pour des applications de régulation précises et exigeantes dans la fabrication de semi-conducteurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la technologie PD éprouvée de GEMÜ, grâce à laquelle l'actionneur et le fluide sont séparés par un cône de régulation en PTFE. Comme le contour du cône de régulation, la course de l'actionneur et les tailles des raccords peuvent être adaptés, le GEMÜ C53 iComLine répond à presque toutes les exigences de régulation et de débit de l'industrie des semi-conducteurs. Associé aux matériaux de corps ultra-purs, le moteur pas à pas précis est particulièrement adapté aux processus de lithographie, de polissage et de gravure tout comme pour les applications analytique de la fabrication de semi-conducteurs.