Composants inox pour les applications du secteur des semi-conducteurs

Composants inox pour les applications du secteur des semi-conducteurs

Vannes à membrane en inox – le choix idéal pour les composants d'alimentation en solvant

Le processus de fabrication des produits à semi-conducteurs fait appel à des solvants critiques et agressifs. Les composants assurant l'alimentation d'une installation font donc l'objet de hautes exigences en termes de résistance chimique et de protection contre les explosions. Les vannes à membrane GEMÜ en inox sont idéales pour ces applications avec des solvants ultra-purs. Nous vous présentons ici les différents types de produits que nous proposons.

 


Face à une complexité croissante, nous avons la solution

GEMÜ est votre partenaire de développement dans le domaine des sous-ensembles. 

Nous proposons tout le nécessaire, des composants individuels aux sous-groupes complexes et aux collecteurs, en passant par la fabrication d'ensembles simples par soudage ou collage. 


Nous vous renseignons volontiers sur la technologie des vannes la mieux adaptée à votre application ! 

 

Demander tout de suite conseil

Composants inox dans l'industrie chimique et la fabrication de corps annulaires, pour :

• H2SO4 

• TMAH

• H3PO4 

Composants inox pour l'alimentation en solvant, pour :

• Isopropanol

• Acétone

• N-méthyl-2-pyrrolidone (NMP)

Composants inox au niveau process, pour :

• Lithographie (résine photosensible)

➥ Avantages des composants inox pour l'alimentation en solvant

Bonne conductivité

Les solvants utilisés ont un point d'inflammabilité bas et se chargent très facilement d'électricité statique dans les tuyauteries. Ceci implique que les installations d'alimentation en solvant doivent être fabriquées avec des matériaux pouvant être protégés de l'électricité et mis à la terre. L'inox dispose de très bonnes propriétés de conductivité. 

 

État de surface de grande qualité

La rugosité de surface des composants utilisés dans l'installation a une influence sur le niveau de charge du fluide qui s'écoule. Depuis 2018, GEMÜ possède un Centre Technique des traitements de surface et élargit continuellement ses compétences en la matière. Afin d'éviter une charge électrostatique excessive, les niveaux de rugosité préconisés dans le cas de l'alimentation en solvant sont compris entre Ra 0,25 et Ra 0,8. Un état de surface de grande qualité vous permet en outre de profiter d'une meilleure nettoyabilité.

 

Résistance élevée

Le matériau inox offre l'avantage d'être très résistant. Il est ainsi possible d'utiliser également des fluides agressifs sans risquer de polluer le solvant ou de compromettre l'étanchéité de la vanne. Nos vannes en inox résistant à tous les solvants courants, par exemple à ceux indiqués ci-dessous :

• 2-Propanol 99,8%
• Ethyllaktat
• Aceton
• NMP
• AZ400T
• NBA
• PGMEA

 

➥ Corps de vanne et types de raccordement

Raccord spécial 

Les embouts à souder et les raccords VCR sont considérés comme les pièces d'assemblage standard pour les composants inox. Les différents raccords sont utilisés selon que les composants de la vanne doivent être simples à monter ou se prêtent au soudage.

Corps de vanne

Dans le cas des systèmes d'alimentation en solvant, les corps forgés constituent la solution standard afin de garantir une rugosité de surface minimale.

 

➥ En alternative : PTFE renforcé de fibres de carbone

Le PTFE renforcé de fibres de carbone, un matériau conducteur utilisable en alternative à l'inox

Des composants en PTFE et PTFA résistants sont également utilisés dans les secteurs où le facteur coût joue un rôle essentiel. Les plastiques servant d'isolants électriques peuvent se charger d'électricité statique par frottement et sont donc plutôt inadaptés à l'utilisation pour l'alimentation en solvant. Grâce à l'ajout de carbone durant le processus de production du fluoropolymère, il est néanmoins possible d'atteindre une conductivité ciblée. Ceci permet une évacuation contrôlée des charges qui se forment. Il est ainsi possible d'empêcher les décharges soudaines et les inflammations qui en résultent.

GEMÜ propose des corps en PTFE conducteur ainsi que des tuyaux et des écrous d'accouplement en PFA renforcé de fibres de carbone. Citons par exemple les vannes à membrane GEMÜ C60 et C67 ou encore la vanne à clapet à membrane de bloc M GEMÜ PC50 iComLine.

 


Composants GEMÜ en inox et en plastique

Vannes à commande manuelle 

Vannes à commande pneumatique 

Vannes en plastique


Brochure d'information Composants inox pour les applications avec des solvants dans le secteur des semi-conducteurs

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