L'industria dei semiconduttori utilizza da molti anni con successo in tutto il mondo le valvole a membrana GEMÜ CleanStar. I clienti GEMÜ apprezzano i vantaggi della struttura e l'ampia gamma di applicazioni possibili grazie alla gradazione ben studiata delle dimensioni attuatore da 1 a 3. Ora lo specialista delle valvole amplia la famiglia GEMÜ CleanStar con la dimensione attuatore 4, stabilendo nuovi standard in termini di ingombro e flusso.

Le esigenze dell'industria dei semiconduttori per quanto riguarda i sistemi di valvole sono in costante crescita. Le strutture sempre più piccole sui microchip richiedono la massima purezza e fluidi senza particelle. Allo stesso tempo, anche la quantità richiesta di fluidi di processo è aumentata negli ultimi anni a causa dei diametri più grandi dei wafer. GEMÜ ha tenuto conto di entrambi gli sviluppi con l'introduzione della nuova dimensione dell'attuatore. La nuova dimensione attuatore 4 è disponibile nei diametri nominali 1½" e 2" e le parti a contatto con i fluidi sono in PFA o PTFE TFMTM. Questa combinazione rende possibile il trasporto di grandi quantità di fluidi e l'utilizzo dei sistemi di valvole ad alto grado di purezza già a livello di alimentazione e distribuzione di una produzione di semiconduttori. Allo stesso tempo, il design compatto della GEMÜ CleanStar garantisce un eccezionale rapporto flusso/ingombro e sostituirà in futuro le valvole a membrana GEMÜ 600 HP e GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: un design collaudato conquista nuove applicazioni

I vantaggi della serie GEMÜ CleanStar sono numerosi. La ghiera centrale crea un collegamento affidabile tra l'attuatore e il corpo valvola ed elimina completamente l'uso di parti metalliche. Il design a sbarre (weir style) assicura un instradamento dei fluidi con basse sollecitazioni, minimizza gli spazi morti e non impone una direzione di flusso. Le parti esterne hanno un'ottima resistenza chimica grazie all'uso del PVDF. Un foro di scarico e asole per il montaggio flessibile delle valvole sono già integrati nel design del corpo. Inoltre, la serie ha un indicatore di posizione di serie. Tutti questi vantaggi sono stati adottati nelle proporzioni per la nuova dimensione attuatore 4. Con i diametri nominali più grandi, GEMÜ mette a disposizione dei suoi clienti tutti i vantaggi del prodotto di cui sopra già a livello di alimentazione e distribuzione (Facility e Sub-Fab) di una produzione di semiconduttori.