Per la sterilizzazione degli impianti utilizzati nell'industria farmaceutica, la qualità del vapore normalmente prodotto non è ottimale. La quantità di scorie, particelle, idrazina, fosfati e componenti similari(inibitori di corrosione) presenti in questo vapore è troppo elevata. Per le sostanze medicamentose, deve essere utilizzato un vapore speciale attenendosi alle norme rilevanti, come ad esempio quelle della FDA (Food and Drug Administration). Non deve più contenere le componenti di cui sopra. Deve essere inoltre privo di componenti volatili, che non possono essere eliminate mediante filtrazione.