超純水の再精製 / ポリシャーと分配器

超純水の再精製 / ポリシャーと分配器

Ultra purification of high purity water / Polisher and distribution
ある研究機関の生産施設の要求に応えて,超純水の品質を最適化する必要が生じました。ここでは特殊ウェハーと試作品のウェハーが作られています。前述の超純水はウェハー製造のさまざまな工程で必要とされるものです。この特殊なアプリケーションにとっては,異物粒子と有害なイオンの含有量の面で,通常の超純水では品質的に不十分です。水に含まれる有害残留分子の数が多すぎる可能性があるため,一次精製した純水をさらに精製する必要があります。
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