超高純度ケミカル供給設備

超高純度ケミカル供給設備

Supply installation for high purity chemicals
コンピューターなどに使用するマイクロチップを製造する場合,全工程を通じて最高度の純度要求を満たす必要があります。生産工程で使用する流体や搬送容器,生産エリア内の分配装置についても,同じことが当てはまります。理由は,半導体のスイッチング回路の構造が非常に微細であるためです。さらに,金属イオンや金属化合物分子などの導電性粒子がウェハー上やその周囲に付着ないし存在していてはなりません。さもないと,これら粒子がストリップ導体間の隙間に入り込み,短絡を起こす可能性があります。さらに,これら粒子が半導体の電気的特性,ひいてはその機能性に悪影響を及ぼすことも考えられます。
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