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マイクロエレクトロニクスと半導体産業

条件の厳しい流体ハンドリング

GEMÜ は 1988 年以来超高純度バルブ,計測器および制御システム分野の製品を製造しています。

その応用分野は光学,医療,太陽光発電,電子機器,マイクロエレクトロニクス,半導体製造,医薬品,バイオテクノロジー,遺伝子工学,精密機械,マイクロマシンなどに広がっています。

クリーンルーム工場 (エメン)

これらの産業で必要とされる超高純度用途のコンポーネントや製品はクリーンルーム環境で製造されています。バルブも計測・制御機器も,エメン (スイス) 工場で最新の技術とプロセスにより射出成型・洗浄・組立・試験が行われ,同じくクリーンルーム環境で梱包されています。

その他用途向けの耐性のあるバルブボディ材質

他の産業でも,条件の厳しい流体ハンドリング用に PTFE,PVDF,PFA,PP ないしそれらの HPS バリエーション (クリーンルーム生産なし) のようなバルブボディ材質の製品を使用することができます。GEMÜ はこれらにより最高水準の耐薬品性を適正な価格で提供します。

ドーシング,制御および分配用途向けのカスタマイズシステムソリューション

GEMÜ iComLine シリーズのカスタマイズ品,多機能マルチポートバルブは自動制御システムに適しています。グローブダイアフラムシート技術により,腐食性の粒子を含む流体でも高速サイクルのドーシングおよび制御を可能にします。さらに圧力測定システム,フィッティングおよびチューブも組み込むことが可能です。これらは別途ご注文いただくか,または仕様に応じて,いわゆるマニホールドの形で提供することもできます。

GEMÜ バルブ,計測器および制御システムを使用したプロセスの例

  • 太陽電池のウェハーやフラットパネルの製造
  • 化学薬品のドーシング
  • プリント基板・マイクロチップの製造
  • LED の製造
  • 金属の分離

製品群

空気操作または電動式のすべての GEMÜ バルブは,計装を含めて工場から出荷できます。

CleanStar および PurePlus ダイアフラムバルブiComLine ダイアフラムグローブバルブiComLine マルチポートブロックバルブ
SonicLine 流量計HydraLine 圧力トランスデューサーFlareStar フィッティング
TubeStar チューブステンレス製ダイアフラムバルブ