2/2-way ダイアフラムグローブバルブ GEMÜ C53 iComLine は，半導体産業における精密で要件の厳しい制御アプリケーション向けに開発されたものです。バルブのシール方式は，定評のある GEMÜ PD テクノロジーに基づいており，アクチュエーターと媒体は PTFE レギュレーティングコーンによって分離されています。レギュレーティングコーンの輪郭，アクチュエーターのストローク，接続口径はカスタマイズが可能ですので，GEMÜ C53 iComLine はハイテクノロジーの半導体産業のほとんどすべての制御および流量要件を満たします。精密ステッピングモーターと超高純度のボディ材質の組み合わせにより，リソグラフィー，CMP，エッチング工程，およびすべての半導体製造の分析領域での用途に特に適しています。
- 半導体産業における高純度用途向けのコントロールバルブ
- ステッピングモーターを備えた高解像度リニアアクチュエーター
- iComLine シリーズをベースにしたダイアフラムグローブバルブ
- 定評ある Plug-Diaphragm テクノロジー
- すべての接液部が PFA または PTFE 製です。
- 100 万回まで耐える制御切り替えサイクル
- クリーンルーム内で製造，SEMI F 57規格適合
- 流体温度:10 ～ 150 °C
- 周囲温度:～ 40 °C
- 使用流体圧力:～ 6 MPa
- 接続ねじサイズ1/4'' - 3/4''
- ボディ形状:2/2-way ボディ
- 接続方法:PrimeLock® | Super 300 Type Pillar® | フレア
- ボディ材質:PFA | PTFE
- シール材質:PTFE
- 電源電圧:24 V DC
- 入力信号0 - 10 V | 4 - 20 mA
- 動作速度:最大 2 mm/s
- 保護等級:IP65
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| マルチポートブロックバルブ |
