De halfgeleiderindustrie stelt hoge eisen aan de afsluiter-, meet- en regeltechniek. In toenemende mate voldoen pneumatisch bediende afsluiters niet meer aan de regeleisen van vooraanstaande fabrikanten van procesapparatuur. Om die reden heeft afsluiterspecialist GEMÜ de elektromotorisch bediende regelafsluiter GEMÜ C53 iComLine ontwikkeld.

De 2/2-weg membraan-zittingafsluiter GEMÜ C53 iComLine werd ontwikkeld voor precieze en veeleisende regeltoepassingen in de halfgeleiderproductie. Het afdichtingsprincipe van de afsluiter berust op de beproefde GEMÜ PD-technologie waarbij de aandrijving en het medium door een conusvormige regelkegel van bestendig PTFE gescheiden worden. Omdat regelkegelcontour, aandrijfslag en aansluitgroottes volgens specifieke wensen van de klant aangepast kunnen worden, voldoet GEMÜ C53 iComLine aan vrijwel alle regel- en doorstromingseisen van de technologisch hoogontwikkelde halfgeleiderindustrie. Door de combinatie van de precieze stappenmotor met ultrareine behuizingsmaterialen is de afsluiter met name geschikt voor lithografie-, CMP- en etsprocessen alsmede voor toepassingen op analytisch gebied in elke halfgeleiderproductie.

De membraan-zittingafsluiter GEMÜ C53 iComLine kan daarbij niet alleen als enkele doorgangsafsluiter gemonteerd worden. Een integratie in een M-blok GEMÜ PC50 iComLine is eveneens mogelijk om complexe stroomschema's op minimale ruimte te realiseren. Bij de bewerking van siliciumwafers kan een meerwegafsluiterblok bijvoorbeeld in FOUP-cleaners voor de temperatuurregeling van het DI-water worden toegepast. Hiertoe kunnen in het M-blok GEMÜ PC50 iComLine terugslagafsluiters en sensoren geïntegreerd worden.