GEMÜ C53 iComLine

Elektromotorisch bediende regelafsluiter

  • Beschrijving
  • Kenmerken
  • Technische details

De 2/2-weg membraan-zittingafsluiter GEMÜ C53 iComLine werd ontwikkeld voor precieze en veeleisende regeltoepassingen in de halfgeleiderproductie. Het afdichtingsprincipe van de afsluiter berust op de beproefde GEMÜ PD-technologie waarbij de aandrijving en het medium door een PTFE-regelkegel gescheiden worden. Omdat regelkegelcontour, aandrijfslag en aansluitgroottes volgens specifieke wensen van de klant aangepast kunnen worden, voldoet GEMÜ C53 iComLine aan vrijwel alle regel- en doorstromingseisen van de technologisch hoogontwikkelde halfgeleiderindustrie. Door de combinatie van de precieze stappenmotor met ultrareine behuizingsmaterialen is de afsluiter met name geschikt voor lithografie-, CMP- en etsprocessen alsmede voor toepassingen op analytisch gebied in elke halfgeleiderproductie.

  • Regelafsluiter voor ultrareine toepassingen in de halfgeleiderindustrie
  • Lineaire aandrijving met hoge resolutie met stappenmotor
  • Membraanzittingafsluiter op basis van de iComLine-serie
  • Beproefde plug-diaphragm-technologie
  • Alle onderdelen die met medium in contact komen zijn van PFA of PTFE
  • 1 miljoen gekwalificeerde regelschakelcycli
  • Cleanroomproductie (HP versie), voldoet aan SEMI F 57
  • Aansluitmethode: Flare; PrimeLock®; Super 300 Type Pillar®
  • Aandrijfmethode: Elektrisch bediend
  • Afdichtingsmaterialen
  • Behuizingsmateriaal: PFA; PTFE TFM™
  • Max. bedrijfsdruk: 6 bar
  • Max. mediumtemperatuur: 150 ° C
  • Min. mediumtemperatuur: 10 ° C
  • Nominale breedten: DN 8 (1/4''); DN 10 (3/8''); DN 15 (1/2''); DN 20 (3/4'')

Nieuws over het product

20.07.2020

GEMÜ ontwikkelt nieuwe elektromotorisch bediende regelafsluiter