GEMÜ C53 iComLine

Elektromotorisch bediende regelafsluiter

  • Beschrijving
  • Kenmerken
  • Technische details

De 2/2-weg membraan-zittingafsluiter GEMÜ C53 iComLine werd ontwikkeld voor precieze en veeleisende regeltoepassingen in de halfgeleiderproductie. Het afdichtingsprincipe van de afsluiter berust op de beproefde GEMÜ PD-technologie waarbij de aandrijving en het medium door een PTFE-regelkegel gescheiden worden. Omdat regelkegelcontour, aandrijfslag en aansluitgroottes volgens specifieke wensen van de klant aangepast kunnen worden, voldoet GEMÜ C53 iComLine aan vrijwel alle regel- en doorstromingseisen van de technologisch hoogontwikkelde halfgeleiderindustrie. Door de combinatie van de precieze stappenmotor met ultrareine behuizingsmaterialen is de afsluiter met name geschikt voor lithografie-, CMP- en etsprocessen alsmede voor toepassingen op analytisch gebied in elke halfgeleiderproductie.

  • Regelafsluiter voor ultrareine toepassingen in de halfgeleiderindustrie
  • Lineaire aandrijving met hoge resolutie met stappenmotor
  • Membraanzittingafsluiter op basis van de iComLine-serie
  • Beproefde plug-diaphragm-technologie
  • Alle onderdelen die met medium in contact komen zijn van PFA of PTFE
  • 1 miljoen gekwalificeerde regelschakelcycli
  • Cleanroomproductie (HP versie), voldoet aan SEMI F 57
  • Mediumtemperatuur:10 tot 150 °C
  • Omgevingstemperatuur:0 tot 40 °C
  • Bedrijfsdruk:0 tot 6 bar
  • Aansluitgroottes1/4'' tot 3/4''
  • Behuizingsvormen:Doorgangsafsluiter
  • Aansluitmethoden:Flare | PrimeLock® | Super 300 Type Pillar®
  • Materialen afsluiterhuis:PFA | PTFE TFM™
  • Afdichtmateriaal:PTFE TFM™
  • Voedingsspanning:24 V DC
  • Ingangssignalen0 - 10 V | 4 - 20 mA
  • Regelsnelheid:max. 2 mm/s
  • Beschermklasse:IP65

Nieuws over het product

20.07.2020

GEMÜ ontwikkelt nieuwe elektromotorisch bediende regelafsluiter