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Sistema de distribuição para produtos químicos de alta pureza

Supply installation for high purity chemicals
Na produção de microchips, p. ex. para computadores, necessita-se das mais elevadas requisições de limpeza em todos os processos de produção. Os fluidos de operação necessários para a produção, os recipientes de transporte e os sistemas de distribuição nas áreas de produção, também estão sujeitos a estas exigências. A razão para estas requisições são os circuitos extremamente minúsculos dos semicondutores. Além disso, não devem haver partículas condutoras de eletricidade, como, íons ou moléculas de metal, sobre os wafers ou nos arredores destes. Neste caso, as partículas poderiam preencher as pequenas cavidades dos trajetos dos condutores e formar um curto circuito. Além do mais, influenciam as características elétricas dos semicondutores e consequentemente, a sua função.
Outros casos de aplicação

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