A indústria de semicondutores exige altos requisitos a válvulas, sistemas de medição e de controle. Muitas vezes não bastam as válvulas de acionamento pneumático para cumprir as requisições de controle de fabricantes de equipamentos de processos. Por isso, GEMÜ, o especialista em válvulas, desenvolveu a válvula de controle motorizada GEMÜ C53 iComLine.

A válvula de diafragma de 2/2 vias GEMÜ C53 iComLine foi projetada para aplicações precisas e exigentes de controle na produção de semicondutores. O princípio de vedação da válvula baseia na tecnologia testada GEMÜ PD, na qual o atuador e o fluído são isolados por meio dum obturador regulador coniforme do material PTFE muito resistente. O contorno do obturador regulador, o curso do atuador e os tamanhos de conexão podem ser customizados, e assim, a GEMÜ C53 iComLine cumpre praticamente todos os requisitos de vazão da indústria de alta tecnologia de semicondutores. Com a combinação do motor passo a passo muito preciso, e que possui corpo de material de ultra pureza, a válvula é especialmente adequada para processos de litografia, CMP (polimento químico-mecânico) e processos de corrosão, assim como, para aplicações na área analítica em qualquer produção de semicondutores.

Nisso, além de se instalar uma válvula globo de diafragma GEMÜ C53 iComLine como simples válvula de passagem reta, também é possível sua integração num bloco M GEMÜ PC50 iComLine para realizar esquemas de fluxo complexos num espaço mínimo. No processamento de bolachas de silício, um bloco de válvulas multivias por exemplo, também pode ser instalado no FOUP-Cleaner para controle de temperatura da água DI. Para tal, podem ser integradas válvulas de retenção e sensores no bloco M GEMÜ PC50 iComLine.