Há muitos anos a indústria de semicondutores usa a nível mundial e com grande êxito as válvulas de diafragma da série GEMÜ CleanStar. Os clientes da GEMÜ valorizam as vantagens do estilo de construção, assim como, das numerosas possibilidades de aplicação devido a propositada graduação dos atuadores tamanho 1 até 3. Agora o especialista em válvulas amplia sua família GEMÜ CleanStar com o atuador tamanho 4 e define padrões em relação a Footprint e fluxo.

Os requisitos na indústria de semicondutores cresce continuamente em relação à tecnologia de válvulas. Estruturas cada vez menores nos microchips exigem pureza máxima e fluidos sem partículas. Devido ao diâmetro cada vez maior dos wafers nos últimos anos, também aumentou a quantidade necessária de fluidos de processo. A GEMÜ leva em consideração ambos os desenvolvimentos com o lançamento do novo tamanho do atuador. O novo atuador tamanho 4 encontra-se disponível nos diâmetros nominais 1½" e 2", e as peças em contato com o fluido são de PFA ou PTFE TFMTM. Esta combinação possibilita o transporte de grandes volumes de fluido e a aplicação da tecnologia de válvulas de ultra pureza desde o nível da alimentação e distribuição na fabricação de semicondutores. Ao mesmo tempo, o design compacto da série GEMÜ CleanStar garante uma ótima relação fluxo/Footprint e no futuro, irá substituir as válvulas de diafragma GEMÜ 600 HP e GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: Um design testado conquista novas aplicações

Numerosas vantagens da nova série GEMÜ CleanStar. A porca união central garante uma conexão segura entre atuador e corpo da válvula, e ainda dispensa completamente da utilização de peças de metal. O design da passagem (weir style) providencia uma condução menos agitada do fluido, minimiza deadlegs e não determina uma direção de fluxo. As peças exteriores apresentam uma resistência química muito boa devido ao emprego de PVDF. Um dreno, assim como, furos oblongos para uma instalação flexível das válvulas, encontram-se integrados no design do corpo. Além disso, a série compreende um indicador ótico de posição como padrão. Todas estas vantagens foram assumidas no escalonamento ao novo atuador tamanho 4. Devido aos diâmetros nominais maiores, a GEMÜ torna todas as qualidades do produto mencionadas aproveitáveis para seus clientes, desde o nível da alimentação e distribuição (Facility e Sub-Fab) na fabricação de semicondutores.