Para a linha de produção num centro de pesquisas, a qualidade de água de alta pureza tem de ser de suma importância. Neste sistema são produzidos wafers especiais e de testes. A água necessária é utilizada nos mais diversos passos da produção de wafers. A qualidade de água de alta pureza normal não é suficiente para estes critérios especiais de aplicação em relação a isenção de partículas e íons nocivos. A quantidade de moléculas residuais nocivas presentes no fluido ainda pode ser muito elevada, e assim, necessita-se de mais uma limpeza posterior da água anteriormente limpa.