В отрасли изготовления полупроводниковых приборов химикаты используются почти во всех процессах, в частности, для очистки, нанесения покрытия и травления. Использованием для этих процессов едких сверхчистых химических сред обусловлены высокие требования к чистоте и стойкости оборудования и его компонентов. Поэтому для систем смешивания и подачи химикатов рекомендуется применять мембранные клапаны из высококачественных фторопластов. На примере системы DFS Fusion для смешивания химикатов вы узнаете больше об изделиях и решениях GEMÜ, оптимально подходящих для производства полупроводниковых приборов.