Полупроводниковая промышленность предъявляет высокие требования к клапанам и контрольно-измерительным приборам. Одних только клапанов с пневматическим управлением всё чаще бывает недостаточно для удовлетворения требований по регулированию со стороны ведущих производителей технологического оборудования. По этой причине компания GEMÜ, специализирующаяся на производстве клапанов, разработала регулирующий клапан GEMÜ C53 iComLine с электроуправлением.

2/2-ходовой мембранный седельный клапан GEMÜ C53 iComLine был разработан для высокоточного и сложного применения в производстве полупроводниковых приборов. Принцип уплотнения клапана основан на проверенной технологии GEMÜ PD, которая предусматривает разделение привода и рабочей среды коническим шаровым регулирующим плунжером из прочного PTFE. Благодаря возможности настройки контура шарового регулирующего плунжера, хода привода и размеров соединения согласно спецификации заказчика GEMÜ C53 iComLine отвечает практически всем требованиям по регулированию и контролю расхода в высокотехнологичной полупроводниковой промышленности. Комбинация высокоточного шагового двигателя и высокочистых материалов корпуса нового клапана делает его оптимально подходящим для процессов литографии, CMP и травления, а также для применения в аналитической области на любом производстве полупроводников.

При этом мембранный седельный клапан GEMÜ C53 iComLine может устанавливаться не только в качестве простого проходного клапана. Также возможно его встраивание в многоходовой клапанный блок GEMÜ PC50 iComLine для реализации сложных поточных схем в условиях ограниченного пространства. При обработке кремниевых пластин многоходовой клапанный блок можно использовать, например, в устройстве FOUP-Cleaner для терморегулирования деионизованной воды. Для этого в многоходовой клапанный блок GEMÜ PC50 iComLine могут встраиваться обратные клапаны и датчики.