Kvaliteten på vanlig ånga räcker inte till vid sterilisering av anläggningar inom läkemedelsindustrin. Den har för hög andel nedsmutsning, partiklar, hydrazin, fosfater och liknande (korrosionsinhibitorer). Enligt relevanta föreskrifter, t.ex. FDA (Food and Drug Administration), måste en särskilt ren ånga användas för läkemedel. Ovanstående partiklar får inte förekomma och de får inte heller innehålla flyktiga komponenter eftersom dessa inte kan tas bort vid filtreringen.