GEMÜ CleanStar för användning i DFS Fusion-kemisystem

GEMÜ CleanStar för användning i DFS Fusion-kemisystem

GEMÜ CleanStar for use in DFS Fusion chemical blending systems
Kemikalier används i nästintill alla processer vid tillverkning av halvledare, särskilt vid rengöring, beläggning och etsning. De aggressiva ultrarena kemikalier som används där ställer höga krav på renheten och beständigheten hos anläggningen och dess komponenter. Därför rekommenderar vi att man använder membranventiler av fluorpolymerplast av hög kvalitet till system som blandar och tillför kemikalier. Med hjälp av exemplet med kemikalieblandningssystemet DFS Fusion kan du ta reda på mer om produkter och lösningar från GEMÜ, som är perfekt lämpade för tillverkning av halvledare.
Ytterligare applikationer

Information för nedladdning

EN
pdf
403 KB