Halvledarindustrin ställer höga krav på ventil-, mät- och reglertekniken. I allt större uträckning räcker pneumatiskt styrda ventiler inte längre till för att uppfylla reglerkraven från ledande tillverkare av processutrustning. Därför har ventilspecialisten GEMÜ utvecklat den elmotordrivna reglerventilen GEMÜ C53 iComLine.

2/2-vägs membransätesventilen GEMÜ C53 iComLine har utvecklats för exakta standardapplikationer med höga krav inom tillverkningen av halvledare. Ventilens tätningsprincip baseras på den beprövade GEMÜ PD-tekniken, som skiljer manöverdon och medium med hjälp av en konformad reglerkägla av tålig PTFE. Eftersom det går att anpassa formen på reglerkäglan, manöverdonet och anslutningsdimensionerna efter kundens önskemål uppfyller GEMÜ C53 iComLine nästintill alla regler- och flödeskrav för den högtekologiska halvledarindustrin. Genom kombinationen av den precisa stegmotorn och högrena ventilhusmaterial passar ventilen framförallt för litografi-, CMP-, och frätningsprocesser, samt användningar inom analys för tillverkning av halvledare.

Membransätesventilen GEMÜ C53 iComLine kan användas till mer än bara en enkel genomströmningsventil. Det går även att integrera den i ett GEMÜ PC50 iComLine M-block för att bygga komplexa flödesscheman på små ytor. Vid bearbetning av kiselplattor kan en flervägsventilblock t.ex. användas för temperaturreglering av avjoniserat vatten i FOUP-Cleaner. Dessutom kan backventiler och givare integreras i GEMÜ PC50 iComLine M-block.