Sedan många år tillbaka använder företag inom den globala halvledarindustrin membranventiler från GEMÜs modellserie CleanStar. GEMÜs kunder uppskattar fördelarna med konstruktionen och de mångsidiga användningsområdena tack vare den genomtänkta indelningen av ställdonsdiametrar från 1 till 3. Nu utökar ventilspecialisten GEMÜ CleanStar-serien med ställdonsdiameter 4 och sätter en ny ribba vad gäller miljöpåverkan och flödeshastighet.

Halvledarindustrins krav på ventiltekniken ökar ständigt. Allt mindre mikrochipsstrukturer kräver att fluiderna är högrena och fria från partiklar. Samtidigt har mängden processmedia som behövs också ökat på grund av större waferdiametrar de senaste åren. GEMÜ har tagit hänsyn till båda dessa utvecklingar i och med lanseringen av den nya ställdonsdiametern. Den nya ställdonsdiametern 4 finns i de nominella diametrarna 1½" och 2", och de delar som vidrör mediet består av PFA och PTFE TFMTM. Denna kombination gör det möjligt att transportera stora medievolymer och använda högren ventilteknik redan på försörjnings- och distributionsstadiet vid tillverkningen av halvledare. Samtidigt säkerställer den kompakta designen hos GEMÜ CleanStar ett fantastiskt förhållande mellan flödeshastighet/miljöpåverkan, och kommer i framtiden att ersätta membranventilerna GEMÜ 600 HP och GEMÜ 677 HP/HPW.

GEMÜ CleanStar: en beprövad design vinner mark med nya användningsområden

Fördelarna med modellserien GEMÜ CleanStar är många. Överfallsmuttern i mitten skapar en tillförlitlig förbindelse mellan ställdon och ventilhus, och gör att man helt slipper använda metalldelar. Membrandesignen (weir-typ) säkerställer ett medieflöde med låg stress, och minimerar dödvolymen utan att specificera flödesriktningen. De utvändiga komponenterna uppvisar tack vare användningen av polyvinyldifluorid (PVDF) en riktigt god kemisk beständighet. Dräneringshål samt ovala hål för flexibel montering har redan integrerats i ventilkroppsdesignen. Dessutom har alla varianter i modellserien lägesindikering som standard. Alla dessa fördelar har fått följa med till den nya ställdonsdiametern 4. Tack vare större nominella diametrar ser GEMÜ till att alla kunder kan dra nytta av fördelarna redan på försörjnings- och distributionsstadiet (Facility och Sub-Fab) vid tillverkningen av halvledare.