Cet article est répertorié comme bien à double usage conformément au règlement EU 2021/821 sous la liste de contrôle No. 2B350g. Si ces biens sont fournis à des pays en dehors de l'UE, les restrictions d'exportation correspondantes s'appliquent.
La vanne à clapet à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine a été conçue pour les applications de régulation précises et complexes nécessaires à la fabrication des semi-conducteurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la technologie PD (Plug Design) éprouvée de GEMÜ, c'est-à-dire que l'actionneur et le fluide sont séparés au moyen d'un clapet de régulation en PTFE. Le contour du cône de régulation, la course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être adaptés aux besoins spécifiques du client. De ce fait, la GEMÜ C53 iComLine répond à la quasi-totalité des exigences de l'industrie des semi-conducteurs en matière de régulation et de débit. Associé aux matériaux de corps ultra-purs, le moteur pas à pas précis est particulièrement adapté aux processus de lithographie, de polissage et de gravure tout comme pour les applications analytique de la fabrication de semi-conducteurs.
Vanne de régulation pour applications ultra-pures dans l'industrie des semi-conducteurs
Actionneur linéaire haute résolution avec moteur pas à pas
Vanne à clapet à membrane reposant sur la série iComLine
Technologie éprouvée à membrane conique
Toutes les pièces en contact avec le fluide sont en PFA ou en PTFE
1 million de cycles de commutation de régulation caractéristiques
Production en salle blanche (version HP), conforme à SEMI F 57
La vanne à clapet à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine a été conçue pour les applications de régulation précises et complexes nécessaires à la fabrication des semi-conducteurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la technologie PD (Plug Design) éprouvée de GEMÜ, c'est-à-dire que l'actionneur et le fluide sont séparés au moyen d'un clapet de régulation en PTFE. Le contour du cône de régulation, la course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être adaptés aux besoins spécifiques du client. De ce fait, la GEMÜ C53 iComLine répond à la quasi-totalité des exigences de l'industrie des semi-conducteurs en matière de régulation et de débit. Associé aux matériaux de corps ultra-purs, le moteur pas à pas précis est particulièrement adapté aux processus de lithographie, de polissage et de gravure tout comme pour les applications analytique de la fabrication de semi-conducteurs.
Type: C53: Vanne à clapet en plastique, électrique
AG: 12: 3/4 " code international: 12
Forme du corps: D: Corps de vanne 2 voies
Matériau du corps de vanne: 30: PFA, alcane akoxyperfluoré
Matériau d'étanchéité: 5: PTFE
Tension/Fréquence: C1: 24V DC
Module de régulation: S1: Positionneur 4-20mA Position d'erreur close
Type d'actionneur: 2A: Taille d'actionneur 2 Taille de siège 9,55 mm
Clapet de régulation: R3235: 1 m³/h - linear
Version High Purity: HP: High Purity
La vanne à clapet à membrane 2/2 voies GEMÜ C53 iComLine a été conçue pour les applications de régulation précises et complexes nécessaires à la fabrication des semi-conducteurs. Le principe d'étanchéité de la vanne repose sur la technologie PD (Plug Design) éprouvée de GEMÜ, c'est-à-dire que l'actionneur et le fluide sont séparés au moyen d'un clapet de régulation en PTFE. Le contour du cône de régulation, la course de l'actionneur et les tailles de raccord peuvent être adaptés aux besoins spécifiques du client. De ce fait, la GEMÜ C53 iComLine répond à la quasi-totalité des exigences de l'industrie des semi-conducteurs en matière de régulation et de débit. Associé aux matériaux de corps ultra-purs, le moteur pas à pas précis est particulièrement adapté aux processus de lithographie, de polissage et de gravure tout comme pour les applications analytique de la fabrication de semi-conducteurs.
Type: C53: Vanne à clapet en plastique, électrique
AG: 12: 3/4 " code international: 12
Forme du corps: D: Corps de vanne 2 voies
Matériau du corps de vanne: 30: PFA, alcane akoxyperfluoré
Matériau d'étanchéité: 5: PTFE
Tension/Fréquence: C1: 24V DC
Module de régulation: S1: Positionneur 4-20mA Position d'erreur close
Type d'actionneur: 2A: Taille d'actionneur 2 Taille de siège 9,55 mm
Clapet de régulation: R3235: 1 m³/h - linear
Version High Purity: HP: High Purity
Numéro d'article: 88849145 C5312D7330 5C1S12AR3235 HP
The 2/2-way diaphragm globe valve was developed for precise and demanding control applications in semiconductor production. The sealing concept of the valve is based on the tried and tested GEMÜ PD technology, whereby actuator and medium are separated by a PTFE regulating cone. As the regulating cone contour, actuator stroke and connection size can be customized to meet customers' requirements, the GEMÜ C53 iComLine satisfies virtually all control and flow requirements of the semiconductor industry. The precise stepper motor, in conjunction with the ultra pure body materials, is particularly suitable for lithography, CMP, and etching processes, as well as analytical applications in semiconductor production.
Type: C53: Plastic globe valve, electric
Connection size: 12: 3/4", international code: 12
Body configuration: D: 2/2-way body
Connection type: 73: Flare connection with CPFA union nut
Valve body material: 30: PFA, perfluoroalkoxy
Seal material: 5: PTFE
Voltage / Frequency: C1: 24 V DC
Control module: S1: Positioner 4-20mA Error position close
Actuator version: 2A: Actuator size 2 Seat size 9,55 mm
Regulating cone: R3235: 1 m³/h - linear
High Purity version: HP: High Purity
The GEMÜ C53 iComLine 2/2-way diaphragm globe valve was developed for precise and demanding control applications in semiconductor production. The sealing concept of the valve is based on the tried and tested GEMÜ PD technology, whereby actuator and medium are separated by a PTFE regulating cone. As the regulating cone contour, actuator stroke and connection size can be customized to meet customers' requirements, the GEMÜ C53 iComLine satisfies virtually all control and flow requirements of the semiconductor industry. The precise stepper motor, in conjunction with the ultra pure body materials, is particularly suitable for lithography, CMP, and etching processes, as well as analytical applications in semiconductor production.
Type: C53: Plastic globe valve, electric
Connection size: 12: 3/4", international code: 12
Body configuration: D: 2/2-way body
Connection type: 73: Flare connection with CPFA union nut
Valve body material: 30: PFA, perfluoroalkoxy
Seal material: 5: PTFE
Voltage / Frequency: C1: 24 V DC
Control module: S1: Positioner 4-20mA Error position close
Actuator version: 2A: Actuator size 2 Seat size 9,55 mm
Regulating cone: R3235: 1 m³/h - linear
High Purity version: HP: High Purity
Item number: 88849145 C5312D7330 5C1S12AR3235 HP
Les textes de l'appel d'offres ont été copiés dans le presse-papiers.
