Válvula globo de diafragma eletromotriz de 2/2 vias

A válvula globo de diafragma de 2/2 vias GEMÜ C53 iComLine foi desenvolvida para aplicações de controle precisas e exigentes na produção de semicondutores. O princípio de vedação da válvula baseia-se na comprovada tecnologia GEMÜ PD, na qual o atuador e o fluido são separados por um cone regulador de PTFE. Como o contorno do cone de controle, o curso do atuador e os tamanhos de conexão podem ser adaptados, o GEMÜ C53 iComLine atende a quase todos os requisitos de controle e fluxo da indústria de semicondutores. Em combinação com os materiais de alta pureza do corpo, o motor de passo preciso é particularmente adequado para processos de litografia, CMP e gravação, bem como para aplicações analíticas na produção de semicondutores.