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Elektromotorisches 2/2-Wege-Membransitzventil

GEMÜ C53 iComLine

KonfigurierenTechnisches Datenblatt
Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil aus Kunststoff für hochreine und korrosive Anwendungen in der Halbleiter-, Chemie- und Pharmaindustrie.

Hochreines PFA/PTFE-Regelventil für das Handling von kritischen Medien

Produktinfos

Das 2/2-Wege-Membransitzventil GEMÜ C53 iComLine wurde für präzise und anspruchsvolle Regelanwendungen in der Halbleiterfertigung entwickelt. Das Dichtprinzip des Ventils beruht auf der bewährten GEMÜ PD-Technologie, wodurch Antrieb und Medium durch einen PTFE-Regelkegel getrennt werden. Da Regelkegelkontur, Antriebshub und Anschlussgrößen angepasst werden können, erfüllt der GEMÜ C53 iComLine nahezu alle Regel- und Durchflussanforderungen der Halbleiterindustrie. Der präzise Schrittmotor eignet sich in Verbindung mit den hochreinen Körperwerkstoffen insbesondere für Lithographie-, CMP- und Ätzprozesse sowie analytische Anwendungen in der Halbleiterfertigung.

Hauptmerkmale

  • Regelventil für hochreine Anwendungen in der Halbleiterindustrie
  • Hochauflösender Linearantrieb mit Schrittmotor
  • Integration in platzsparende Mehrwegeventilblocklösungen
  • Hohe Lebensdauer mit über 1 Mio. qualifizierte Regelschaltzyklen
  • Reinraumfertigung, erfüllt SEMI F57
  • Gute Eignung für aggressive Medien
  • Regelventil auf Basis der iComLine-Baureihe
Elektromotorisch betätigtes Membransitzventil aus Kunststoff für hochreine und korrosive Anwendungen in der Halbleiter-, Chemie- und Pharmaindustrie.

Technische Details

Parameter
Wert
Medientemperatur
10 bis 150 °C
Umgebungstemperatur
0 bis 40 °C
Betriebsdruck
0 bis 6 bar
Anschlussgrößen
1/4'' bis 3/4''
Körperformen
Durchgangskörper
Anschlussarten
Flare
PrimeLock®
Super 300 Type Pillar®
Körperwerkstoffe
Modifiziertes PTFE
PFA
Dichtwerkstoff
PTFE
Versorgungsspannung
24 V DC
Eingangssignale
0 - 10 V
4 - 20 mA
Stellgeschwindigkeit
max. 2 mm/s
Schutzart
IP65
Ventilhub
4 mm

Downloads

11 Ergebnisse
  • Produktbroschüre Elektromotorisch betätigtes Regelventil C53 iComLine

    pdf (514 KB) -
    DE

  • Notice d'utilisation GEMÜ C53

    pdf (1 MB) -
    FR

  • Datasheet GEMÜ C53

    pdf (581 KB) -
    EN

  • Product certificate RoHS - GEMÜ product collection

    pdf (305 KB) -
    DE/EN

  • Validation Guide GEMÜ F40, 567, C53  PD Ventile

    pdf (3 MB) -
    DE

  • Datenblatt GEMÜ C53

    pdf (583 KB) -
    DE

  • Betriebsanleitung GEMÜ C53

    pdf (4 MB) -
    DE

  • Fiche technique GEMÜ C53

    pdf (589 KB) -
    FR

  • Product brochure Motorized control valve C53 iComLine

    pdf (523 KB) -
    EN

  • Operating instructions GEMÜ C53

    pdf (1 MB) -
    EN

  • Datasheet GEMÜ C53 (US)

    pdf (970 KB) -
    EN

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