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Critical fluid handling: Wafer-Beschichtung

Critical Fluid Handling: Wafer-Beschichtung

Das Transportieren von Substraten erfolgt über eine Fluidschicht. Mit Mehrwege-Ventilblöcken GEMÜ iComLine aus PFA kann hier eine integrierte Bauweise realisiert werden: Sie sind nicht nur eine kompakte Einheit, mit der das flache Becken eingedüst wird, sondern stellen gleichzeitig auch die Behälterbegrenzungen des Transportsystems dar. Da die Substrate gleichmäßig umspült werden, können diese während des Transportvorgangs auch nasschemisch behandelt oder gereinigt werden. Die Mehrwegeventilblocksysteme GEMÜ iComLine können zudem auch in Behälterdeckel integriert werden. Im Video ist ein Funktionsmodell zum Transportvorgang eines Wafers zu sehen.