Soluções para as mais elevadas exigências
A indústria de semicondutores exige a máxima segurança do processo, resistência química e manuseio confiável de fluidos críticos. Água ultrapura, produtos químicos corrosivos e fluidos lamacentos abrasivos exigem soluções robustas, otimizadas para espaços e salas limpas, que funcionem de forma confiável.
A indústria de semicondutores impõe os mais altos requisitos em termos de segurança do processo, resistência química e manuseio confiável de fluidos críticos. Especialmente água ultrapura, produtos químicos corrosivos e fluidos lamacentos corrosivos exigem soluções robustas que funcionem de forma confiável, mesmo sob rigorosas especificações de pureza e espaço.
Apoiamos nossos clientes na gestão segura de fluidos em processos úmidos, na alimentação constante de água ultrapura e fluidos químicos de processo, bem como no planejamento de sistemas de alimentação mais eficientes. Nossas válvulas, sistemas de medição e controle permitem uma gestão do processo com baixo teor de partículas, alta resistência dos materiais e regulação precisa. Assim, criamos a base para processos estáveis e reproduzíveis em ambientes de fabricação sensíveis.
A alimentação de produtos químicos de ultra pureza é essencial para a qualidade e a segurança dos processos na produção de alta tecnologia. Os fluidos agressivos utilizados nos processos de limpeza e gravação impõem altos requisitos em termos de resistência e pureza dos materiais. Desde a mistura de produtos químicos até o escoamento (dreno), sistemas confiáveis são essenciais para uma fabricação estável e eficiente.
Nas fábricas de semicondutores, o fluxo de fluidos para as ferramentas de processo é controlado com exatidão. Os reguladores de contrapressão mantêm a pressão da linha constante, mesmo com variações no fluxo volumétrico por meio de saídas controláveis individualmente.
A válvula de controle GEMÜ C53 iComLine e os medidores de pressão HydraLine garantem um controle preciso e alta segurança do processo.
© AP&S International GmbH
O sistema de mistura DFS produz hidróxido de amônio (NH₄OH) com a mais alta pureza (<10 ppt) para processos críticos de semicondutores. As válvulas CleanStar com corpo de alto fluxo são utilizadas em cooperação com a GEMÜ. Elas possibilitam um coeficiente de vazão máximo, resistência química e pureza rigorosa.
O resultado: Processos estáveis, tempos de inatividade reduzidos e segurança máxima do produto na aplicação.
O manuseio de fluidos abrasivos é essencial para a produção de semicondutores. Desde o fluido lamacento abrasivo de grão grosso utilizado no corte de silício até o fluido lamacento de polimento fino utilizado no processo CMP, cada fluido requer o máximo cuidado para produzir wafers com superfície espelhada para uma estruturação precisa.
A alimentação de fluido lamacento para CMP impõe altos requisitos ao transporte de fluidos. As turbulências podem levar à aglomeração de partículas e prejudicar o desempenho do filtro. Uma solução compacta e com fluxo otimizado garante uma distribuição uniforme e processos estáveis.
Com as válvulas de bloco multivias GEMÜ PC50 iComLine, você pode evitar essas turbulências de forma confiável.
Os processos úmidos são uma parte central da produção de semicondutores e impõem os mais altos requisitos às instalações e aos componentes. Enquanto aplicações simples têm requisitos de pureza mais baixos, os processos modernos de fabricação de chips exigem produtos químicos corrosivos, ausência de partículas e resistência química. Válvulas de ultra pureza em PTFE/PFA garantem aqui a máxima segurança do processo.
Os FOUPs transportam wafers entre processos em salas limpas, como litografia, CMP e gravação. Para evitar partículas e AMC, é essencial realizar uma limpeza completa. A aplicação exige a mistura segura de agentes de limpeza, manuseio de gases e água deionizada, além de componentes de plástico fluorado de ultra pureza em uma construção compacta para ambientes com espaço limitado.
Você encontrará opções para atender a esses requisitos no caso de aplicação.
Durante a produção de chips, os banhos químicos são monitorados continuamente e redosados para manter a concentração e a temperatura estáveis.
Os sistemas de medição e controle precisos da GEMÜ ajudam você a assegurar um controle exato, para uma qualidade de processo consistentemente alta na sala limpa.
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Para processos de limpeza eficientes, por exemplo, em caixas FOUP e EUV Mask, é fundamental que a temperatura do fluido seja exata e constante. Altas temperaturas aceleram a limpeza, mas exigem uma mistura precisa de água quente deionizada e água à temperatura ambiente.
A GEMÜ oferece soluções de mistura especiais para esse fim que asseguram estabilidade do processo, repetibilidade e eficiência máxima.
Na fabricação de semicondutores, solventes como isopropanol, acetona ou NMP são indispensáveis, mas exigem altos requisitos de resistência, pureza e segurança.
Válvulas de aço inox com deadleg minimizado e sistemas de blocos de válvulas multivias atendem a esses requisitos e garantem proteção contra explosão em conformidade com a ATEX, bem como processos confiáveis para aplicações críticas.
Na indústria de semicondutores, solventes orgânicos como isopropanol, acetona ou NMP são utilizados para limpeza e remoção de fotorresina.
Nossas válvulas de diafragma ou soluções de bloco M de aço inox atendem aos altos requisitos de proteção contra incêndio e explosão, qualidade de superfície e conexões seguras. Ideais para a alimentação precisa e segura de solventes.
Geprüfte Qualität
Suas vantagens
Desde componentes individuais, passando por configurações soldadas montadas em placas de base, até soluções em bloco, oferecemos uma ampla variedade de soluções para sua aplicação.
Graças à nossa colaboração de longa data com os principais fabricantes de semicondutores, acumulamos um vasto know-how e cultivamos relações duradouras.
Graças à nossa fábrica de sala limpa em Emmen (Suíça), garantimos a conformidade com a norma DIN ISO 4644-1, bem como a mais alta qualidade de produção e montagem.
Nossa linha de válvulas de diafragma de aço inox oferece diversas soluções – desde válvulas individuais até sistemas em bloco para solventes orgânicos.
