電鋳法による微細金属部品の製造

Fabrication of metallic microcomponents by electroforming

時計の歯車やガンギ車など，複雑な形状の微細部品を伝統的な機械的加工法で製造しようとすると，バリの発生が問題となってきます。この問題に対応するための新しい加工法のひとつがダイレクト LIGA 法です。この方法では微細構造体の像をフォトリソグラフィーの手法でブランクにプリントした後に，電気メッキを施してから材料を削り取っていきます。

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