Herstellung von metallischen Mikrobauteilen durch Galvanoformung

Die komplexen Geometrien von Mikrobauteilen, wie sie beispielsweise in einem Uhrwerk in Form von Zahnrädern oder Ankerrädern eingesetzt werden, lassen sich mit klassischen mechanischen Verfahren ohne Gratbildung nicht mehr realisieren. Neue Verfahren, wie das Direkt-LIGA Verfahren, ermöglichen die Herstellung solcher Mikrobauteile, bei dem die Mikrostrukturen lithographisch vorgegeben sind und galvanisch abgeschieden werden.