プロセス機器ウェットベンチ / バルブ,パイプ,フィッティング

プロセス機器ウェットベンチ / バルブ,パイプ,フィッティング

Process equipment wet bench/valves, pipes and fittings
マイクロチップを生産する場合,製造工程で使用する流体および周囲の環境に非常に厳しい純度要求が課されます。半導体が高品質であればあるほど,粒子と化学的汚染物質の許容限界値は低く(厳しく)なります。このことは,マイクロチップの原料となるウェハー(=シリコンディスク。これに微細な回路パターンをエッチングし,その後,カッターで切り離したものがマイクロチップとなる)の製造工程はもちろんのこと,補助的に使用する物質の製造工程にも当てはまります。いわゆるウェットベンチとは,シリコンディスク表面を研磨し,高純度の酸およびその混合物を使って回路パターンを食刻し,その後に超純水で洗い流す作業をする生産エリアのことです。
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