Wet bench/ventiler, rör och monteringsdelar

Wet bench/ventiler, rör och monteringsdelar

Process equipment wet bench/valves, pipes and fittings
Tillverkning av mikrochips ställer höga krav på renhet, både i arbetsmedier och i miljön. Ju mer avancerade halvledarna är desto lägre är de tillåtna gränsvärdena för partiklar och kemiska kontaminationer. Detta påverkar både wafer-produktionen, där kiselskivor etsas och sågas ut till enskilda mikrochips, och tillverkningen av tillsatsmaterial. Så kallade wet benches används i produktionen av wafers. Ytan på kiselskivorna slipas, kretsarna etsas med högrena syror och blandsyror och sköljs av med ultrarent vatten.
Ytterligare applikationer

Information för nedladdning

DE
pdf
117 KB
GB
pdf
113 KB