La calidad del agua de alta pureza que se utiliza en las instalaciones de producción de un instituto de investigación en el que se producen obleas especiales y de ensayo es de suma importancia. El agua necesaria se utiliza en los diferentes pasos de fabricación de las obleas. Para estos criterios especiales de aplicación no basta con la calidad que el agua de alta pureza convencional ofrece en cuanto a ausencia de partículas e iones dañinos. Dado que la cantidad de moléculas residuales existentes en el fluido puede ser excesiva, el agua purificada debe purificarse más exhaustivamente.