A válvula de diafragma de 2/2 vias GEMÜ C67 CleanStar de alta pureza é operada manualmente. Todas as partes úmidas são feitas de PFA ou PTFE. Um limitador de fechamento (exceto para AG4) e um indicador visual de posição são integrados como padrão. Essa versão de alta pureza da série CleanStar atende aos mais altos padrões de pureza e tem alta resistência química. Ele também pode ser usado com altas temperaturas de mídia. Portanto, ele é usado com muita frequência no nível de fornecimento e distribuição das fábricas de semicondutores.