Para esterilizar instalaciones de la industria farmacéutica, la calidad del vapor de servicio convencional no es suficiente porque la proporción de contaminantes, partículas, hidracina, fosfatos y componentes similares (inhibidores de la corrosión) en este tipo de vapor es excesiva. En la preparación de fármacos conformes a las regulaciones pertinentes, por ejemplo las de la FDA (Administración de Medicamentos y Alimentos estadounidense) se debe utilizar un tipo de vapor de servicio especial. Este vapor de servicio no puede contener ninguno de estos componentes y, además, debe estar libre de componentes volátiles que no puedan eliminarse por filtración.