Для стерилизации оборудования в фармацевтической промышленности не подходит обычный пар промышленного качества. Доля загрязнений, частиц, гидразина, фосфатов и аналогичных компонентов (ингибиторов коррозии) в этом паре слишком высока. В соответствии с действующими предписаниями, например, FDA (Food and Drug Administration — Управление по контролю качества пищевых продуктов и лекарственных средств) при производстве лекарственных средств должен использоваться специальный пар. Он не должен содержать указанных компонентов и должен быть свободен от летучих примесей, так как они не могут быть удалены путем фильтрации.