I den farmaceutiske industri er kvaliteten af normal driftsdamp ikke tilstrækkelig til sterilisation af anlæg. Andelen af smuds, partikler, hydrazin, fosfater og lignende komponenter (korrosionsinhibitorer) er for høj i denne damp. Til lægemidler skal der anvendes en særlig driftsdamp, der er i overensstemmelse med de relevante forskrifter, f.eks. fra FDA (Food and Drug Administration). Dampen må ikke indeholde disse komponenter og skal derudover være uden flygtige komponenter, fordi disse ikke kan fjernes vha. filtrering.