Pour la stérilisation des installations de l'industrie pharmaceutique, la qualité de la vapeur industrielle normale est insuffisante. La part d'impuretés, de particules, d'hydrazine, de phosphates et de composants similaires (inhibiteurs de corrosion) de cette vapeur est trop élevée. Pour les médicaments, une vapeur d'exploitation spéciale conforme aux prescriptions en vigueur, dont celles de l'agence américaine des produits alimentaires et médicamenteux (FDA), doit être utilisée. Elle ne doit plus contenir ces composants et doit de plus être également exempte de composants volatils, ces derniers ne pouvant pas être éliminés par filtration.